光電子行業(yè)，橡膠塑料行業(yè)，橡膠塑料行業(yè)，機(jī)械設(shè)備行業(yè)等
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產(chǎn)品品牌戈德?tīng)?/p>
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更新日期2015-10-17 11:04
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招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
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品牌： |
戈德?tīng)?/td> |
所在地： |
山東 煙臺(tái)市 |
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有效期至： |
長(zhǎng)期有效 |
規(guī)格： |
570(W)×420(D)×740(H)mm |
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約20升)420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件，
性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥，德國(guó)(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲茫娮淤|(zhì)量流量計(jì)、針閥，美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路
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