隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設備制備的高純水

已受到人們普遍歡迎，潔凈工程技術已開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。

   潔凈工程又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制工程，是近二、三十年來隨著高新技術發(fā)展起來的一門綜合性的新興科

學技術。對于半導體設備來講，潔凈工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成

電路，而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的潔凈工程和設備提出了嚴格的要求。在大規(guī)模集成電路

制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)

展趨勢不相適應，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展。

  但隨著我國高新技術的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥

工業(yè)的發(fā)展，我國潛在的巨大的潔凈工程技術產(chǎn)品市場，以每年40％~50％的增長速度在增加。





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