靜電吸附
     
     在半導體元器件的生產(chǎn)制造過程中,由于大量使用了石英及高分子物質(zhì)制成的器具和材料，其絕緣度很高，在使用過程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚,且電位愈來愈高。
     由于靜電的力學效應(yīng)，在這種情況下,很容易使工作場所的浮游塵埃吸附于芯片表面，而很小的塵埃吸附都有可能影響半導體器件的良好性能。所以電子產(chǎn)品的生產(chǎn)必須在清潔環(huán)境中操作，并且操作人員、器具及環(huán)境必須采取一系列的防靜電措施，以防止和降低靜電危害的形成。
     2．介質(zhì)擊穿的分類
     由靜電引起元器件的擊穿是電子工業(yè)中靜電危害的主要方式。在強電場中，隨著電場強的增強，電荷不斷積累，當達到一定程度時，電介質(zhì)會失去極化特征而成為導體，最后產(chǎn)生介質(zhì)的熱損壞現(xiàn)象，這種現(xiàn)象稱為電介質(zhì)的擊穿。介質(zhì)擊穿分熱擊穿、化學擊穿和***穿三種形式。
     （1）熱擊穿介質(zhì)工作時，當損耗產(chǎn)生的熱量大于介質(zhì)向周圍散發(fā)的熱量時，介質(zhì)的溫度迅速升高，導電隨之增加，直至介質(zhì)的熱損壞?？梢姛釗舸┑暮诵膯栴}是散熱問題。所以熱設(shè)計是產(chǎn)品設(shè)計的重要環(huán)節(jié)之一。
     （2）化學擊穿在高壓下，強電場會在介質(zhì)表面或內(nèi)部的缺陷小孔附近產(chǎn)生局部空氣碰撞電離，引起介質(zhì)電輝，生成化學物質(zhì)--臭氧和二氧化碳，使絕緣性能降低，致使介質(zhì)損壞。
     （3）***穿***穿是介質(zhì)在強電場作用下,被擊發(fā)出自由電子而引起的。自由電子隨電場強度的增加而急劇增加，從而破壞介質(zhì)的絕緣性能?？梢?**穿的本質(zhì)是電荷積聚所致,因而防止電荷積聚就可防止***穿。一般把擊穿的臨界電壓稱為擊穿電壓,臨界場強稱為擊穿場強。例如: e空氣= 3 kv/m, mos管結(jié)構(gòu)的e柵氧化摸= 1.0×106kv/m。
     
     
     
     
     
     靜電的擊穿與放電
     
     （1）靜電放電靜電放電與外加穩(wěn)定電源產(chǎn)生的放電雖然同為電荷積聚所致，但又有著明顯的區(qū)別。首先，在靜電放電的情況下，起放電電源是空間電荷，因而它所儲存的能量是有限的，不像外加電源那樣具有持續(xù)放電的能力，故它僅能提供短暫發(fā)生的局部擊穿能量。雖然靜電放電的能量較小,但其放電波形很復雜，控制起來也比較麻煩。半導體器件的軟擊穿就與它有關(guān)。
     （2）靜***穿由靜***穿引起的元器件擊穿損壞是電子工業(yè)中，特別是電子產(chǎn)品制造中最普遍、最嚴重的危害。
     靜電放電可能造成器件硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的***性失效，如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化，并使其指標參數(shù)降低而造成故障隱患。由于軟擊穿可使電路時好時壞（指標參數(shù)降低所致），且不易被發(fā)現(xiàn)，給整機運行和查找故障造成很***煩。軟擊穿時設(shè)備仍能帶"病"工作，性能未發(fā)生根本變化，很可能通過出廠檢驗，但隨時可能造成再次失效。多次軟擊穿就能造成硬擊穿，使設(shè)備運行不正常，既給用戶造成損失，也影響廠家聲譽和產(chǎn)品的銷售。
     
     
     
     
     人體靜電
     在工業(yè)生產(chǎn)中，引起元器件損壞和對電子設(shè)備的正常運行產(chǎn)生干擾的一個主要原因是人體靜電放電。人體靜電放電既可能造***體遭***而降低工作效率，又可能引發(fā)二次事故（即器件損壞），因此人體靜電應(yīng)引起足夠重視。人體形成靜電的原因是人體在日常工作中，把人體所消耗的機械能在活動中轉(zhuǎn)換為電能。人體是一個靜電導體，當與大地絕緣時（如穿的鞋底為絕緣物質(zhì)），人體與大地就形成一個電容，使電荷儲存起來，其充電電壓一般≤50kv。當電荷儲積到一定程度時，一旦條件成熟會放電形成火花，瞬時放電電壓可達數(shù)千千伏，放電功率可達幾千千瓦。
     （1）人體靜電的起電方式
     起步電流當人行走在絕緣地板上時，抬起的一只腳由于鞋底電阻的存在可產(chǎn)生一個充電電流i1，而另一只腳也由于鞋底電阻的存在，落地時有一個泄露電流i2。這種電流一般小于10-8a，其大小和步行方式與地板材料有關(guān)。
     摩擦帶電及其它帶電人體在日常工作中,會與所穿的衣服、鞋帽、手套產(chǎn)生摩擦，并且衣服與周圍物體之間、鞋子與地板之間、手與工件之間等都可產(chǎn)生摩擦。此外，當人體靠近帶電物體時，也會感應(yīng)出大小相等、符號相反的電荷以及帶電顆粒的吸附，所有這些都是人體產(chǎn)生靜電電荷的誘因，進而通過傳導和靜電感應(yīng),最終使人體呈帶電狀態(tài)。
     （2）影響人體帶電的因素
     起電電流操作者的起電電流一般為i0=10-8～10-6，imax=10-4。當人體對地電阻一定時，起電電流i越大，人體帶電量q就越大，電位就越高。i0一定時，人體對地電阻r越大，電壓就越高，人體帶電荷q就越多。即：
     u↑=i↑r↑ q↑=u↑c
     人體對地電阻人體電阻分兩種：表面電阻和體積電阻。由公式u = i r和q =u c可見，對地電阻r越大，其帶電量q也越高。表面電阻的大小與皮膚的干燥程度和空氣的濕度有關(guān)。干燥時一般為100～600kω，潮濕狀態(tài)為11kω，人體手到腳的體積電阻一般為500ω～800ω。
     人體電容一般指人體對地的電容和人體對周圍物體的電容。由公式q = uc可見：電量一定時，電壓u隨電容c的減小而增大。由公式w=q2/2c可見：人體所儲存的靜電可隨人體電容的減小而增大。
     （3）人體放電***感度人體帶電放電時，人體會有不同程度的反映，這種反映稱為***感度。當人體受到靜電***時，雖不會發(fā)生重大生理障礙，但可能影響人的工作效率，或造成精神緊張和二次破壞等。
     重核心技術(shù)：高效加濕機得到了越來越多使用行業(yè)的認可
     
     在電子工業(yè)生產(chǎn)過程中，如果環(huán)境相對濕度達不到生產(chǎn)需要，那么容易產(chǎn)生靜電，從而導致
     電子生產(chǎn)過程中廢品真多，成本上升；另外灰塵對電子業(yè)的生產(chǎn)過程也影響重大，一定的加濕能起到降塵的作用